Fils d'Ariane

University : Main content

Titre de page

Philippe Lefaucheux

Contenu de la page principale

Ingénieur de Recherche 1ère classe CNRS

GREMI, Groupe de Recherches sur l'Energétique des Milieux Ionisés
UMR7344, CNRS/Université d'Orléans
14 rue d'Issoudun, BP 6744
45067 Orléans Cedex 2, France



02 38 41 70 47

Axe PEVS
Axe MFPL


Centres d'intérêt / Activité scientifique

Mon activité scientifique s'articule principalement autour de 2 thèmes : La gravure de matériaux par plasmas (Si, GaN, Ti …) et la réalisation de micro-décharges dans microréacteurs en silicium.


Compétences

  • Réacteurs (conception, mise au point de procédé …)
  • Développement de dispositifs liés aux diagnostics (technique du vide, cryogénie, HT, gaz …)
  • Diagnostics plasma (sondes électrostatiques, spectrométrie optique, spectrométrie de masse, …)
  • Diagnostics de surface (MEB, ellipsométrie, spectro FTIR,  réflectométrie …)


Enseignements

  • Formation aux techniques de salle blanche.
  • Encadrement de TP, projets étudiants Master, stages de fin d'étude.


Responsabilités

  • Responsable de la maintenance des infrastructures du laboratoire : Suivi de travaux (centrale de traitement d’air, production d’eau glacée, production et traitement d'air comprimé …).
  • Coordinateur du projet d’installation d’une distribution centralisée des gaz (N2, Ar, He, O2, SF6…)
  • Auteur de l’étude et suivi de la mise en place d’une salle blanche (ISO7) au GREMI.
  • Responsable de l’achat des gros équipements du laboratoire (MEB, machines de gravure, instrumentation spéciale, marchés publics…).
  • Membre du comité de pilotage du réseau Plasmas froids du CNRS de 2004 à 2010.
  • Membre de Jury de concours pour le recrutement de personnels universitaires ou CNRS


Parcours / Biographie

2010 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IR1)

2007 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université Orléans (IR2)

1994 : Ingénieur d'étude au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IE2).

1988 – 1994 : Ingénieur en instrumentation Plasma (Secteur privé).

1988 : DESS Electronique Electrotechnique et Automatisme (EEA système temps réel).


Publications au GREMI (depuis 2006)

Si votre navigateur bloque l'affichage automatique des publications, retrouvez les ici