Brucker Dektak XT
Le Dektak XT est conçu pour la caractérisation des états de surface par profilométrie à stylet. Pendant la mesure, le substrat se déplace linéairement sous la pointe. Les mouvements verticaux du stylet sont transmis par un système électromagnétique, mesurant ainsi la topographie de surface de l’échantillon.
- Platine motorisée de déplacement XY de 150mm, rotation motorisée 360°,
- Porte-substrat jusqu'à 6 pouces,
- Hauteur de marche jusqu'à 1mm et longueur de balayage jusqu’à 55mm,
- Diamètre de stylet 12µm,
- Profil digitalisé jusqu'à 120 000 pts par scan,
- Profilage 3D.
Exemples de réalisations
Profil 3D d'un dépôt
Profil 2D d'une ouverture de résine