Université d'Orléans

Axe I : Procédés plasma et laser - Croissance de couches minces et nanomatériaux


Responsable :
Eric Millon

L’Axe I du laboratoire regroupe principalement les recherches visant au développement de procédés plasma et laser pour la compréhension de la croissance et du comportement de matériaux en couches minces ou sous forme de particules.

Les travaux menés mobilisent et optimisent des procédés de dépôt par pulvérisation (Magnétron, HiPIMS, Source de condensation), de traitement lasers continus et pulsés (ns, ps et fs), de gravure et traitement par plasma basse pression, de plasmas poudreux … Ils concernent : 1) l’élaboration et le traitement de matériaux en couches minces pour le stockage, la conversion d’énergie, la micro- et nanoélectronique, les capteurs, 2) la formation et le comportement de particules, 3) la nanostructuration des surfaces et 4) les caractérisations thermo-physiques et électriques des couches minces.

Les activités de cet axe se répartissent sur les 3 thèmes suivants :