Université d'Orléans

Ellipsométrie (salle blanche)

Horiba Jobin-Yvon Uvisel 1

L’ellipsomètre spectroscopique UVISEL permet la caractérisation avancée de structures multicouches en déterminant principalement les épaisseurs et constantes optiques (n,k) des couches. Il peut couvrir une gamme spectrale très large de 145 à 2100nm, peut être entièrement automatisé et offre de nombreux accessoires.

  • Large gamme spectrale : 190 - 2100 nm
  • Epaisseur des couches minces de 1 A à > 45 µm
  • Interface et rugosité de surface

Logiciel DeltaPsi 2 pour la mesure, la modélisation et les rapports d'analyse.

Savoir-faire : Mesure de l’épaisseur de films minces