Université d'Orléans

Gravure par plasma chloré

CORIAL 200IL

La CORIAL 200 IL est un équipement de gravure de type ICP. Il est équipé de lignes de gaz chlorés pour, notamment, la gravure du nitrure de gallium GaN ou du titane. Possibilité d'équiper la chambre de gravure d’outils de diagnostic performants (spectromètre optique, sonde de Langmuir, réflectomètre).

  • Source ICP haute densité (2 MHz – 2kW),
  • Porte-substrat mécanique autorisant les wafers 4" et 6", thermalisé (5°C - 50°C) et polarisé (13.56 MHz - 60W max),
  • Système de chargement rapide par sas,
  • 6 lignes de gaz : Cl2, SiCl4, O2, Ar, SF6 et CHF3.

Savoir-faire :   Procédé de gravure alterné de nitrure de gallium
                         Procédé de gravure de titane