Université d'Orléans

Hotte pour laquage de résines

BH-EN2000 + Süss MicroTec Delta 6RC

Cette hotte est réservée à l’utilisation des résines et des produits nécessaires à la réalisation des masques pour la lithographie électronique ou optique. La tournette Delta 6RC est installée au milieu de la hotte avec un boîtier de contrôle à l’extérieur. Une plaque chauffante est aussi installée pour le recuit de résines après laquage.

  • Hotte à flux laminaire verticale à extraction partielle et à barrière de protection (veine de garde)
  • Différents porte-substrats sont disponibles : 6 pouces, 4 pouces et échantillons 1 pouce x 1 pouce,
  • Température de recuit sur plaque jusqu’à 300°C.

Contact : Philippe Lefaucheux

Voir aussi : Photolithographie UV, Lithographie électronique