Université d'Orléans

Microscope Electronique à Balayage

Zeiss SUPRA 40

Le Supra 40 est un Microscope Electronique à Balayage (MEB) à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky) qui permet des courants d'émission (4pA-20nA) très stables. Il permet de voir des objets de taille nanométrique (nanostructures, poudres, etc.) mais nécessite que l’échantillon ne soit pas totalement isolant électrique.

  • Tension d’accélération continue de 100V à 30kV,
  • Grossissement x12 à x900000 et résolution jusqu’à 1nm à 20kV (WD=2mm),
  • Diaphragmes de 7,5 à 120µm,
  • Sondes : haute efficacité SE In-Lens, classique SE2 de type Everhart-Thornley, BSE 4 cadrans et STEM rétractable,
  • Platine porte-échantillons motorisée sur 5 axes : X, Y=130mm, Z=50mm; T=-3-70°, R=360°),
  • Taille d’échantillon maximale : Ø=80 mm, h=40 mm.

Porosité de surface (colorisé)

Gravure profonde de silicium

Voir aussi : Analyse chimique de surface, Lithographie électronique