Université d'Orléans

Philippe Lefaucheux

 

 

Ingénieur de Recherche 1ère classe CNRS

 

GREMI, Groupe de Recherches sur l'Energétique des Milieux Ionisés

UMR7344, CNRS/Université d'Orléans

14 rue d'Issoudun, BP 6744

45067 Orléans Cedex 2, France

 

Courriel : philippe.lefaucheux[remplacer par @]univ-orleans.fr

Téléphone : 02 38 41 70 47

 

Thèmes

Thème I.2  Nanotechnologies

Thème II.3 Micro-Plasma, plasma médecine et diagnostics X

 

Centres d'intérêt ou Activité Scientifique

Mon activité scientifique s'articule principalement autour de 2 thèmes : La gravure de matériaux par plasmas (Si, GaN, Ti …) et la réalisation de micro-décharges dans microréacteurs en silicium.

 

Compétences

Réacteurs (conception, mise au point de procédé …)

Développement de dispositifs liés aux diagnostics (technique du vide, cryogénie, HT, gaz …)

Diagnostics plasma (sondes électrostatiques, spectrométrie optique, spectrométrie de masse, …)

Diagnostics de surface (MEB, ellipsométrie, spectro FTIR,  réflectométrie …)

 

Enseignements

- Formation aux techniques de salle blanche.

- Encadrement de TP, projets étudiants Master, stages de fin d'étude.

 

Responsabilités

- Responsable de la maintenance des infrastructures du laboratoire : Suivi de travaux (centrale de traitement d’air, production d’eau glacée, production et traitement d'air comprimé …).

- Coordinateur du projet d’installation d’une distribution centralisée des gaz (N2, Ar, He, O2, SF6…)

- Auteur de l’étude et suivi de la mise en place d’une salle blanche (ISO7) au GREMI.

- Responsable de l’achat des gros équipements du laboratoire (MEB, machines de gravure, instrumentation spéciale, marchés publics…).

- Membre du comité de pilotage du réseau Plasmas froids du CNRS de 2004 à 2010.

- Membre de Jury de concours pour le recrutement de personnels universitaires ou CNRS

 

Parcours/Bio

2010 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IR1)

2007 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université Orléans (IR2)

1994 : Ingénieur d'étude au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IE2).

1988 – 1994 : Ingénieur en instrumentation Plasma (Secteur privé).

1988 : DESS Electronique Electrotechnique et Automatisme (EEA système temps réel).


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