Université d'Orléans

Salle Blanche

Salle Blanche

Microscopies et observation

Microscope optique

Microscope numérique

Microscope électronique à balayage

Microscope à force atomique

Ellipsomètre

Profilomètre mécanique

 

Gravure et dépôts par plasma

Gravure par plasma chloré

Gravure par plasma fluoré

Dépôts par pulvérisation magnétron

Dépôts chimique en phase vapeur assisté par plasma

Caractérisations physico-chimiques et électriques

Mesure de mouillabilité de surface

Analyse chimique de surface

Mesure de résistivité à 4 pointes

Mesure de propriétés électroniques par effet Hall (zone propre)

 

Réalisation de motifs multi-échelles

Hotte pour laquage de résines

Photolithographie UV

Aligneur optique multi-niveaux

Lithographie électronique

Impression jet d’encre


Ressources communes

Salle de chimie

Etuve

Chambre plasma micro-ondes

Recuit rapide

Montage de puce