Université d'Orléans

Photolithographie UV

KLOE UV-KUB2 @365nm

L'appareil de photolithographie UV-KUB2 permet une insolation par LEDs UV homogène avec une longueur d'onde de 365nm. Le porte-échantillon accueille des substrats jusqu’à 4 pouces, en mode soft-contact (le masque repose sur l’échantillon) ou gap (un espace est maintenu entre l’échantillon et le masque). A pleine puissance (100%), les LEDs délivrent une intensité de 25mW/cm2.

  • Photolithographie de résines photosensibles,
  • Mode 'flood exposure' (exposition pleine plaque, sans masque) et mode 'mask' avec un masque de 5 pouces,
  • Utilisation de masques chrome/verre ou réalisé par impression sur un transparent,
  • Réalisation de motifs jusqu’au micromètre.

Savoir-faire :

Masque en résine négative pour grilles