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Plateforme Laser Femto

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La plateforme laser femto-seconde a été acquise dans le cadre du PIA Tours2015 (financement CERTEM et FEDER) pour l’étude de la découpe de microbatteries et les surfaces actives destinées au packaging pour le compte de ST Microelectronics. Aujourd’hui, cette plateforme est ouverte et mise à disposition pour la découpe, le recuit et le traitement de surface de plusieurs matériaux dans le cadre des recherches effectuées au GREMI ou dans d’autres laboratoires du campus orléanais.

L’ensemble de l’équipement a été configuré pour une automatisation totale du procédé de traçage laser sur la pièce via un logiciel pouvant lire un dessin technique. Plusieurs longueurs d’onde sont disponibles avec tout le matériel d’optique nécessaire pour le contrôle de la taille du faisceau ainsi que sa fluence.

La plateforme est ouverte aux laboratoires et entreprises locales dans le cadre de projets contractuels. Plusieurs exemples de l’utilisation de cette plateforme :

  • Etude de la découpe d’assemblages à base de matériaux LiCoO pour le service micro-batteries de ST Microelectronics,
  • Etude de la découpe de substrats à haut gap optique pour la microélectronique future pour le service packaging de ST Microelectronics,
  • Etude de la modification de la surface d’électrodes de piles à combustible (Axe MFPL-T1) par la nanostructuration d’empreintes en silicium par laser femto-seconde (Axe MFPL-T2),
  • Découpe sans effets de bord par laser (Axe MFPL-T2) de plaquettes de titane microstructurées pour des applications médicales (Axe MFPL-T2) ou d’échantillons de matrices de microdécharges (Axe PEVS-T1).

 

Equipements de la plateforme

  • Laser pompe, laser sonde Solstice One Box Ultrafast Amplifier (SPECTRAPHYSICS)
  • Table optique, Déplacements motorisés asservis (Microcontrôle)
  • Optiques, Système de confinement (Lentille f-thêta, lentille plano-convex) (Lasoptic)

 

Contacts

Dr. Hervé Rabat
​ (0)2 38 49 43 54