Fils d'Ariane

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Centre de Caractérisation et Procédés Plasma et Laser pour la micro-nanofabrication (C2P2L)

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Plateforme C2P2L

Cette plateforme est un ensemble d’équipements à disposition du laboratoire pour l’élaboration de micro/nano-objets et l’optimisation des procédés plasma de dépôts et de gravure avec l’aide de technologies de nanofabrication.
Constituée d'une salle blanche de 100m2 ISO 8 ainsi que d'un espace voisin en environnement propre ISO 6, la plateforme comporte plusieurs réacteurs de procédés plasma ainsi qu'un grand nombre de moyens de caractérisation des matériaux.
Certains équipements ont été acquis dans le cadre du GIS CERTeM pour des recherches en synergie avec les autres partenaires dans des projets comme le PIA Tours2015 avec ST Microelectronics. D'autres équipements ont été acquis au travers le montage de la plateforme DECAP du projet ARD PIVOTS du campus orléanais pour la fabrication et la caractérisation de nouveaux capteurs environnementaux.

 

Dans le cadre de projets contractuels ou de collaborations non contractuelles avec les laboratoires du campus orléanais, le GREMI ouvre ses plateformes aux laboratoires et aux industriels.

 

Salle blanche

Salle blanche du GREMI

 

Microscopies et Observation

Microscopes optiques

Microscope Electronique à Balayage (+EDX)

Microscope à Force Atomique

Ellipsomètre

Profilomètre mécanique

 

Traitements de surfaces

Gravure par plasma chloré

Gravure par plasma fluoré

Dépôts par pulvérisation magnétron

Dépôts chimiques en phase vapeur assisté par plasma

Nettoyage et activation

Recuit rapide

 

Caractérisations physico-chimiques et électriques

Mesure de mouillabilité de surface

Mesure de résistivité à 4 pointes

Mesure de propriétés électroniques par effet Hall

Diffraction des rayons X

 

Réalisation de motifs multi-échelles

Hotte pour laquage de résines

Photolithographie UV

Aligneur optique multi-niveaux

Impression jet d'encre

 

Ressources communes

Salle de chimie

Montage de puce