Zeiss SUPRA 40
Le Supra 40 est un Microscope Electronique à Balayage (MEB) à émission de champ très haute résolution à pointe chaude (Schottky) qui permet des courants d'émission (4pA-20nA) très stables. Il permet de voir des objets de taille nanométrique (nanostructures, poudres, etc.) mais nécessite que l’échantillon ne soit pas totalement isolant électrique.
- Tension d’accélération continue de 100V à 30kV,
- Grossissement x12 à x900000 et résolution jusqu’à 1nm à 20kV (WD=2mm),
- Diaphragmes de 7,5 à 120µm,
- Sondes : haute efficacité SE In-Lens, classique SE2 de type Everhart-Thornley, BSE 4 cadrans et STEM rétractable,
- Platine porte-échantillons motorisée sur 5 axes : X, Y=130mm, Z=50mm; T=-3-70°, R=360°),
- Taille d’échantillon maximale : Ø=80 mm, h=40 mm.3
Exemples de réalisations
Porosité de surface (colorisé)
Gravure profonde de silicium
Bruker EDX Quantax
Le MEB est équipé d'un système d'analyse par spectroscopie d’énergie dispersive des rayons X (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) QUANTAX afin de caractériser la composition chimique de surface des échantillons.
