Philippe Lefaucheux

Axe PEVS
Axe MFPL

Centres d'intérêt / Activité scientifique

Mon activité scientifique s'articule principalement autour de 2 thèmes : La gravure de matériaux par plasmas (Si, GaN, Ti …) et la réalisation de micro-décharges dans microréacteurs en silicium.

Compétences

• Réacteurs (conception, mise au point de procédé …)
• Développement de dispositifs liés aux diagnostics (technique du vide, cryogénie, HT, gaz …)
• Diagnostics plasma (sondes électrostatiques, spectrométrie optique, spectrométrie de masse, …)
• Diagnostics de surface (MEB, ellipsométrie, spectro FTIR,  réflectométrie …)

Enseignements

• Formation aux techniques de salle blanche.
• Encadrement de TP, projets étudiants Master, stages de fin d'étude.

Responsabilités

• Responsable de la maintenance des infrastructures du laboratoire : Suivi de travaux (centrale de traitement d’air, production d’eau glacée, production et traitement d'air comprimé …).
• Coordinateur du projet d’installation d’une distribution centralisée des gaz (N2, Ar, He, O2, SF6…)
• Auteur de l’étude et suivi de la mise en place d’une salle blanche (ISO7) au GREMI.
• Responsable de l’achat des gros équipements du laboratoire (MEB, machines de gravure, instrumentation spéciale, marchés publics…).
• Membre du comité de pilotage du réseau Plasmas froids du CNRS de 2004 à 2010.
• Membre de Jury de concours pour le recrutement de personnels universitaires ou CNRS

Parcours / Biographie

2010 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IR1)

2007 : Ingénieur de recherche au GREMI CNRS/Université Orléans (IR2)

1994 : Ingénieur d'étude au GREMI CNRS/Université d'Orléans (IE2).

1988 – 1994 : Ingénieur en instrumentation Plasma (Secteur privé).

1988 : DESS Electronique Electrotechnique et Automatisme (EEA système temps réel).

Publications au GREMI (depuis 2006)

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