 |  |
L’enceinte de PULvérisation Plasma "PULP" est un équipement permettant de déposer une grande variété de couches minces par pulvérisation magnétron sur différents types de substrat.
- Enceinte HV (5.10-7 mbar) sans sas d'introduction
- 2 magnétrons circulaires 4 pouces alimentés par 2 générateurs DC (<1000V)
- Couches minces métalliques (sur la base des cibles disponibles) sous argon
- Substrat en rotation jusqu'à 150 x 150 mm à température ambiante non polarisable
A partir de 2026, les gaz O2 et N2 pourront être implémentés sur PULP afin de synthétiser des couches minces céramiques (oxydes et nitrures). Les substrats pourront être régulés en température jusqu’à 700°C.
La plateforme GREMI-MATEX-PULP a pour vocation de soutenir la recherche nationale et internationale en offrant un dispositif de haute technicité, associé à des savoir-faire d’excellence, pour la réalisation de couches minces maîtrisées tant dans leur composition que dans leur structure.
 |  |
Pour toutes demandes de renseignements ou de prestations, vous pouvez contacter l’équipe par le biais du mail de contact.
Contacts
Responsables scientifiques : Amaël CAILLARD / Arnaud STOLZ
Référent technique : Loïc GIMENEZ
Mail contact (demandes/renseignements/prestations) : gremi_matex[remplacer_par_@]listes.univ-orleans.fr