Le laboratoire s’est équipé depuis 2012 d'une salle de préparation et de caractérisation en atmosphère contrôlée de classe ISO 8 grâce au support des collectivités et notamment la Région CVL via le CERTeM. Cette salle blanche regroupe la plupart des moyens de caractérisation de surface du laboratoire et permet d'ouvrir des perspectives dans la fabrication de démonstrateurs.
Comme toutes les salles blanches, elle est construite et utilisée de façon à minimiser l’introduction, la génération et la rétention de particules à l’intérieur de la pièce. La concentration de particules en suspension dans l’air est maîtrisée par une succession de filtres de plus en plus fins et d’autres paramètres tels que la température et la pression sont parfaitement contrôlés. Les personnels passent par un sas d’habillement pour se vêtir de la tête aux pieds de vêtements spécifiques avant de rentrer.
La salle est divisée en 3 parties :
- Une salle de 10m2 dédiée à la chimie et équipée de hottes pour l’utilisation de bases et de solvants. Une hotte spéciale (en polypropylène) est également disponible pour l’utilisation d’acides. D’autres équipements spécifiques à la chimie comme une cuve de dépôt électrolytique ou du matériel usuel (pH-mètre, conductimètre) sont disponibles.
- Une autre salle, de 10 m2 également, est aménagée pour la lithographie et équipée d’une hôte à flux laminaire, d’une imprimante jet d’encre, d’une tournette (spin-coating) pour déposer les résines et d’un mini-insolateur.
Ces 2 salles sont éclairées en lumière jaune (dépourvue d’UV) afin de ne pas perturber les expériences spécifiques à ces techniques. Un microscope en lumière polarisée est également disponible.
- Sur une superficie de 80m2, la salle principale regroupe à la fois les machines plasmas (dépôt magnétron, gravure chlorée et fluorée) et les instruments de caractérisation (MEB, EDX, lithographie électronique, profilométrie mécanique, mesure d’angle de goutte, résistivité 4 pointes, microscopes optique et numérique, ellipsométrie, balance de précision, etc.)
Enseignements
La salle blanche est ouverte aux étudiants de 4ème et 5ème années de Polytech qui y réalisent des travaux pratiques ainsi que des projets où ils acquièrent des compétences et de l’autonomie. Les étudiants bénéficient ainsi, sur place, d’un environnement de très haut niveau technique. Pendant leur formation, ils peuvent utiliser des instruments récents et performants dans un environnement proche de celui que l’on peut trouver dans l’industrie de la microélectronique ou de l’aéronautique par exemple.
Contacts
Responsable Scientifique : Arnaud STOLZ
Responsable Technique : Philippe LEFAUCHEUX