Plateforme C2P2L
Cette plateforme est un ensemble d’équipements à disposition du laboratoire pour l’élaboration de micro/nano-objets et l’optimisation des procédés plasma de dépôts et de gravure avec l’aide de technologies de nanofabrication.
Constituée d'une salle blanche de 100m2 ISO 6 ainsi que d'un espace voisin en environnement propre ISO 8, la plateforme comporte plusieurs réacteurs de procédés plasma ainsi qu'un grand nombre de moyens de caractérisation des matériaux.
Certains équipements ont été acquis dans le cadre du GIS CERTeM pour des recherches en synergie avec les autres partenaires dans des projets comme le PIA Tours2015 avec ST Microelectronics. D'autres équipements ont été acquis au travers le montage de la plateforme DECAP du projet ARD PIVOTS du campus orléanais pour la fabrication et la caractérisation de nouveaux capteurs environnementaux.
Dans le cadre de projets contractuels ou de collaborations non contractuelles avec les laboratoires du campus orléanais, le GREMI ouvre ses plateformes aux laboratoires et aux industriels.
Salle blanche
Microscopies et Observation
Microscope Electronique à Balayage (+EDX)
Microscope à Force Atomique
Traitements de surfaces
Dépôts par pulvérisation magnétron
Dépôts chimiques en phase vapeur assisté par plasma
Nettoyage et activation
Recuit rapide
Caractérisations physico-chimiques et électriques
Mesure de mouillabilité de surface
Mesure de résistivité à 4 pointes
Mesure de propriétés électroniques par effet Hall
Diffraction des rayons X
Réalisation de motifs multi-échelles
Aligneur optique multi-niveaux
Ressources communes
Montage de puce