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… : une électrode de 1 μm d’épaisseur, un diélectrique de 8 μm d’épaisseur, un diamètre d’ouverture compris entre 100 et 150 μm et une cavité allant de 8 à 75 μm de profondeur. L’endommagement des dispositifs …
… : une électrode de 1 μm d’épaisseur, un diélectrique de 8 μm d’épaisseur, un diamètre d’ouverture compris entre 100 et 150 μm et une cavité allant de 8 à 75 μm de profondeur. L’endommagement des dispositifs …