Soutenance de thèse de Robin GRAILLOT VUILLECOT

Dans ce travail, le procédé de pulvérisation magnétron à cible chaude a été étudier sur une cible de titane. Les différents phénomènes ont étés modélisés et simulés à l’aide d’un logiciel de calcul matriciel. L’étude des effets de la température sur la cible a permis d’ensuite étudier ses conséquences sur les couches minces métalliques et oxydes. Premièrement, le taux de pulvérisation est plus important en cible chaude qu’en cible froide, en régime métallique et oxyde. En régime oxyde, en plus de la pulvérisation, la sublimation de la cible participe activement à l’augmentation du taux de pulvérisation. Nous avons observé que le substrat importe peu en cible chaude pour la croissance de couches minces alors que ce dernier influe in cible froide. Les propriétés optiques des couches minces ont étés analysés, il s’avère que la bande interdite d’un matériau obtenu en cible chaude est plus grande que celle d’un film synthétisé par cible froide, de 0,1 eV. Cela a pour conséquence un léger écart en longueur d’onde quant à la coupure dans la transmissivité de la couche mince. Les effets des infrarouges ont également été étudiés à l’aide d’un montage imitant le rayonnement de la cible chaude. Le rayonnement infrarouge ne joue pas sur le coefficient de collage, sur la densité ou la vitesse de dépôt. Par contre, le rayonnement permet une cristallisation différente par rapport à la cible froide seule.