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… Platine porte-échantillons motorisée sur 5 axes : X, Y=130mm, Z=50mm; T=-3-70°, R=360°), Taille d’échantillon … par spectroscopie d’énergie dispersive des rayons X (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) QUANTAX afin de caractériser la …
… Venir en voiture Les grands axes sont la nationale 20 et les autoroutes (A71 et A10). Depuis Paris: - Prenez …
… magnétron sur différents types de substrat. Enceinte HV (5.10-7 mbar) sans sas d'introduction 2 magnétrons circulaires 4 … disponibles) sous argon Substrat en rotation jusqu'à 150 x 150 mm à température ambiante non polarisable A partir de …
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… disponibles : 6 pouces, 4 pouces et échantillons 1 pouce x 1 pouce Température de recuit sur plaque jusqu’à 300°C … …
… : 300K – 770K Taille d’échantillon possible jusqu’à 25 x 25mm … Mesure par effet Hall …
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… de la source du plasma Travail à basse pression (0.5 - 20 Pa) et fortes densités (1011 à 1012 cm-3) Porte-substrat … les wafers 4" et 6", refroidi à l’azote liquide (-120°C - 20°C) et polarisé (13.56 MHz - 150W max) Système de …